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    用磁控靶源濺射金屬和合金很容易

    2021-03-24 15:10:40
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    用磁控靶源濺射金屬和合金很容易，點火和濺射很方便。這是因為靶（陰極），等離子體，和被濺零件/真空腔體可形成回路。但若濺射絕緣體如陶瓷則回路斷了。於是人們采用高頻電源，回路中加入很強的電容。這樣在絕緣回路中靶材成了一個電容。


    但高頻好色先生TV网站電源昂貴，濺射速率很小，同時接地技術很複雜，因而難大規模采用。為解決此問題，發明了磁控反應濺射。就是用金屬靶，加入氬氣和反應氣體如氮氣或氧氣。當金屬靶材撞向零件時由於能量轉化，與反應氣體化合生成氮化物或氧化物。


    磁控反應濺射絕緣體看似容易，而實際操作困難。主要問題是反應不光發生在零件表麵，也發生在陽極，真空腔體表麵，以及靶源表麵。從而引起滅火，靶源和工件表麵起弧等。德國萊寶發明的孿生靶源技術，很好的解決了這個問題。其原理是一對靶源互相為陰陽極，從而消除陽極表麵氧化或氮化。

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    冷卻是一切源（磁控，多弧，離子）所必需，因為能量很大一部分轉為熱量，若無冷卻或冷卻不足，這種熱量將使靶源溫度達一千度以上從而溶化整個靶源。


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