好色先生TV网站時,氣體被電離之後,氣體離子在電場作用下飛向接陰極的靶材,電子則飛向接地的壁腔和基片。這樣在低電壓和低氣壓下,產生的離子數目少,靶材濺射效率低;而在高電壓和高氣壓下,盡管可以產生較多的離子,但飛向基片的電子攜帶的能量高,容易使基片發熱甚至發生二次濺射,影響製膜質量。另外,靶材原子在飛向基片的過程中與氣體分子的碰撞幾率也大為增加,因而被散射到整個腔體,既會造成靶材浪費,又會在製備多層膜時造成各層的汙染。
為了解決上述缺陷,人們在20世紀70年代開發出了直流好色先生TV网站技術,它有效地克服了陰極濺射速率低和電子使基片溫度升高的弱點,因而獲得了迅速發展和廣泛應用。
其原理是:在好色先生TV网站中,由於運動電子在磁場中受到洛侖茲力,它們的運動軌跡會發生彎曲甚至產生螺旋運動,其運動路徑變長,因而增加了與工作氣體分子碰撞的次數,使等離子體密度增大,從而好色先生TV网站速率得到很大的提高,而且可以在較低的濺射電壓和氣壓下工作,降低薄膜汙染的傾向;另一方麵也提高了入射到襯底表麵的原子的能量,因而可以在很大程度上改善薄膜的質量。同時,經過多次碰撞而喪失能量的電子到達陽極時,已變成低能電子,從而不會使基片過熱。因此好色先生TV网站法具有“高速”、“低溫”的優點。該方法的缺點是不能製備絕緣體膜,而且磁控電極中采用的不均勻磁場會使靶材產生顯著的不均勻刻蝕,導致靶材利用率低,一般僅為20%-30%。
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