聯係人：曹經理
手機：18102435282
郵箱：15142553101@163.com
網址：www.cqjzjzx.com
地址：沈陽市渾南區祥瑞產業園
用磁控靶源濺射金屬和合金很容易，點火和濺射很方便。這是因為靶（陰極），等離子體，和被濺零件/真空腔體可形成回路。但若濺射絕緣體如陶瓷則回路斷了。於是人們采用高頻電源，回路中加入很強的電容。這樣在絕緣回路中靶材成了一個電容。但高頻好色先生TV网站電源昂貴，濺射速率很小，同時接地技術很複雜，因而難大規模采用。為解決此問題，發明了磁控反應濺射。就是用金屬靶，加入氬氣和反應氣體如氮氣或氧氣。當金屬靶材撞向零件時由於能量轉化，與反應氣體化合生成氮化物或氧化物。磁控反應濺射絕緣體看似容易，而實際操作困難。主要問題是反應不光發生在零件表麵，也發生在陽極，真空腔體表麵，以及靶源表麵。從而引起滅火，靶源和工件表麵起弧等。德國萊寶發明的孿生靶源技術，很好的解決了這個問題。其原理是一對靶源互相為陰陽極，從而消除陽極表麵氧化或氮化。
如果靶材是磁性材料，磁力線被靶材屏蔽，磁力線難以穿透靶材在靶材表麵上方形成磁場，磁控的作用將大大降低。因此，濺射磁性材料時，一方麵要求磁控靶的磁場要強一些，另一方麵靶材也要製備的薄一些，以便磁力線能穿過靶材，在靶麵上方產生磁控作用。
好色先生TV网站設備一般根據所采用的電源的不同又可分為直流濺射和射頻濺射兩種。直流好色先生TV网站的特點是在陽極基片和陰極靶之間加一個直流電壓，陽離子在電場的作用下轟擊靶材，它的濺射速率一般都比較大。但是直流濺射一般隻能用於金屬靶材，因為如果是絕緣體靶材，則由於陽粒子在靶表麵積累，造成所謂的“靶中毒”，濺射率越來越低。
文章內容來源於網絡，如有問題，請與好色先生TV网站聯絡！
